Achtung Falle: Virtuelle Lecks in HV- und UHV-Systemen!
G. Schröder, F. Pauly, Forschungszentrum Jülich; J. Payão,Universidade Federal, Rio de Janeiro (BRA)
ABSTRACT
Um in Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumsystemen das geforderte Vakuum zu erreichen und anschließend aufrecht zu erhalten, bedarf es nicht nur leistungsfähiger Pumpen. Bereits bei Planung und Fertigung sind ganz spezielle Dinge, wie geeignete Werkstoffe, eine besondere Fügetechnik und eine vakuum- und prüfgerechte Konstruktion zu beachten. Aber auch eine Fertigung und Montage unter besonderen Reinheitsbedingungen ist bei diesen Systemen unerläßlich. Läßt sich dann in einem System bei der Inbetriebnahme das gewünschte Vakuum nicht erreichen, beginnt die Ursachenforschung. Wenn die Pumpen einwandfrei arbeiten und die installierte Pumpleistung nicht zu gering ausgewählt wurde, wird als Nächstes mittels Dichtheitsprüfung nach dem Fehler gesucht. Dabei können neben realen Lecks auch virtuelle Lecks vorhanden sein. Diese "scheinbaren Lecks" sind äußerst fatal: sie verhindern nicht nur ein gutes Vakuum, sondern sie sind mit den Methoden der Lecksuche und Dichtheitsprüfung von außen nicht detektierbar, obwohl sie sich in ihrer Auswirkung fast immer wie reale Lecks verhalten. Zu den virtuellen Lecks zählen z.B. eingeschlossene Mini-Vulumina, unerwünschte Rückstände von der Fertigung oder Reinigung, Ausgasung, Desorption.
