| DGZfP 2000 Sitzung: Durchstrahlungsprüfung | ![]() |
Die Arbeitsgruppe des IZFP am Europäischen Synchrotron (ESRF) in Grenoble entwickelte ein neues Meßprinzip zur mikrometeraufgelösten Diffraktometrie durch die Kombination von hochwinkelauflösender Diffraktometrie und Topographie. Röntgenbeugungsmethoden sind gut geeignet zur Charakterisierung der kristallinen Eigenschaften einer Probe, da die Wellenlänge der verwendeten Strahlung in der Größenordnung der Abstände der Atome im Kristallgitter liegt. Das neue Meßverfahren erlaubt die flächenhafte mikrometeraufgelöste Abbildung der Halbwertsbreiten von Rockingkurven als Qualitätsmerkmal einkristalliner Eigenschaften von Ausgangsmaterialien der Mikroelektronik, wie Wafer und Schichtsysteme, bis hin zur ortsaufgelösten Untersuchung von elektronischen Bauteilen, in-situ unter Betriebsbedingungen.
Mit der Holographischen Tomographie wurde ein neues Röntgenabbildungsverfahren basierend auf der innovativen Verknüpfung von Holographie und Röntgentomographie für industrielle Anwendungen nutzbar gemacht. Röntgenholographie beruht auf der hohen Kohärenz von Synchrotronstrahlung. Die Methode erlaubt auf instrumentell einfache Weise die Begrenzung der Radiographie auf die Absorptionsradiographie zu durchbrechen. Sie beruht auf einer örtlichen Variation der "optischen" Weglängen. Fresnel-Beugung der Röntgenstrahlen an den Objekten bildet die physikalische Grundlage des Abbildungsverfahrens.
Die Kombination der Röntgenholographie mit der Röntgentomographie ermöglicht die 3D- Darstellung von Materialien und Objekten, die konventioneller Rölntgentomographie nicht oder nur schwer zugänglich waren, und führt damit zu einer qualitativ sprunghaften Ausdehnung der potentiellen Applikationsmöglichkeiten. Das sind in erster Linie organische sowie andere leichte Materialien, ganz allgemein dünne Objekte und solche mit geringen örtlichen Unterschieden in der Massendichte und/oder der Ordnungszahl, z.B. organische Schäume, Leichtmetallschäume, Elemente der Mikrosystemtechnik, Komposite und Fasern.