Am Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen (FhG-IIS) wurde in den vergangenen Jahren ein breites Spektrum von Röntgenzeilenkameras und Röntgenmatrixkameras für industrielle Anwendungen entwickelt.

Die Röntgenzeilenkarneras sind aufgrund ihrer hohen Empfindlichkeit und der hohen Ortsauflösung von bis zu 10 lp/mm für unterschiedlichste Meßaufgaben hervorragend geeignet. Die Vorteile der neuen Röntgenzeilenkameras zeigen sich insbesondere bei "leichten" Materialien wie beispielsweise faserverstärkten Kunststoffen, bei denen ausreichende Kontraste nur bei niedrigen Röhrenspannungen (unter 20 kV) zu erzielen sind, oder bei Anwendungen, die eine hohe Ortsauflösung erfordern Je nach Anwendungsfall werden die Röntgenzeilenkameras mit einer aktiven Zeilenlänge zwischen 5 und 50 cm aufgebaut.

Die von FhG-IIS entwickelten Röntgenmatrixkameras werden gegenwärtig vor allem für die radioskopische Lotstelleninspektion eingesetzt. Hier wird ein frame transfer CCID mit 1024 x 1024 Pixeln eingesetzt, der bei einer Ortsauflösung von ca. 10 lp/mm eine Bildfolgefrequenz von ca. 3 - 4 Hz erlaubt.