Bei der Lecksuche an extrem sauberen Bauteilen oder Anlagen, z.B. für Reinstgase, störte bisher immer die Rückströmung von Ölen aus Pumpen des Leckdetektors. Sogenannte "trockene" Leckdetektoren mit ölfreien Pumpen konnten nur mit großen und damit teuren Pumpen realisiert werden. Insbesondere für den Einsatz in Reinräumen gibt es aber Obergrenzen für die Abmessungen von Geräten, die nicht überschritten werden dürfen.

Es wird ein neuartiger, trockener Leckdetektor für Helium vorgestellt, der ein ähnliches Preis-/ Leistungsverhältnis wie bekannte portable Heliumleckdetektoren hat. Die Besonderheiten dieses Leckdetektors bestehen vor allem im Aufbau des Pump- und Ventilsystems und der Signalverarbeitung.

Als Ersatz für die ölgedichtete Drehschieberpumpe, die jeder massenspektrometrische Heliumleckdetektor enthält, wird eine Membranpumpe eingesetzt. Dies war nur möglich, weil moderne Turbomolekularpumpen mit Schraubenvorstufe einen Vorvakuumdruck im mbar-Bereich zulassen. Zur Beibehaltung der Ansprechzeit wird atmosphärische Luft als Spülgas verwendet.

Um die unvermeidlichen Signalschwankungen durch die Saugvermögensinstabilität der Membranpumpe und damit eine schlechte Nachweisgrenze zu kompensieren, wird der Eingangsgasstrom in den Leckdetektor moduliert und das Leckratensignal phasenempfindlich gemessen. Das hierzu eingesetzte Ventil dient gleichzeitig der sanften Druckanpassung während des Abpumpvorgangs, wenn von der Membran auf die Turbopumpe umgeschaltet werden muß.

Das gesamte Signal- und Gasmanagement (Patente angemeldet) ermöglicht eine Leckageratennachweisgrenze von 3x10^-10 mbarl/s für Helium als Prüfgas in einem portablen Gerät von 35kg Gewicht. Mit einer Breite von nur 25cm paßt das Gerät auch noch durch engste Gänge in Reinräumen, z.B. in der Fertigung von Halbleiteranlagen.