Die Bestimmung der Oberflächenwellengeschwindigkeit und daraus ableitbarer Materialkennwerte (Spannungen, Gefügestruktur..) mit der herkömmlichen akustischen Mikroskopie ist durch das Vorhandensein vieler akustischer Übertragungsstrecken des Probe-Linsensysterns und der daraus resultierenden Interferenz nur ungenau und mit Unsicherheiten behaftet möglich. Auf der Basis einer Sektorlinse wurde ein Meßsystem realisiert, welches durch zeitliche Auflösung aller akustischen Signale eine Zuordnung dieser Signale zu denmöglichen Übertragungsstrecken ermöglicht.

Der Meßbeginn erfolgt bei der manuell einzustellenden größten Defokussierung. Mit Kursoren werden die vorhandenen Echos der direkten Reflexion und des entstehenden Ausbreitungsweg mit Oberflächenwellenanteil ausgewählt und markiert. Dadurch werden alle anderen Echos von der Meßwertbeeinflussung ausgeschlossen. Das Steuerprogramm rastert anschließend die Probenoberfläche bei unterschiedlichen Fokuslagen ab, folgt automatisch den markierten Echomaxima und errechnet aus den Veränderungen der Laufzeitunterschiede, beider Wellenanteile die Oberflächenwellengeschwindigkeit an jedem Punkt. Wird die Erkennung der markierten Echos durch zeitlich naheliegende Störungen verhindert, werden diese Meßwerte nicht berücksichtigt. Durch gleichzeitige Auswertung der mit der Sektorierung der Linse entstehenden unabhängigen und senkrecht zueinander orientierten Wellensysteme können gleichzeitig anisotrope Materialeigenschaften detektiert werden. Das System arbeitet zur Zeit im Frequenzbereich zwischen 5... 50 MHz und ermöglicht eine laterale Auflösung von 20...100 µm.