Für die Herstellung von Zerspanwerkzeugen werden hochharte Werkstoffen wie z.B. Keramikkkwerden hochharte Werkstoffen wie z.B. Keramiken oder Hartmetalle eingesetzt. Der überwiegende Teil dieser Werk-zeuge wird mit einer zusätzlichen Hartstoffschicht zur Verschleißreduzierung versehen. Die geometriebestimmende Endbearbeitung der Werkzeuge geschieht durch Schleifen. Dies führt zu einnneiner nur wenige Mikrometer dicken stark beeinflußten Randzone. Die zerstörungsfreie Prüfung hinsichtlich vorliegender Eigenspannungen in oberflächennahen Bereichen ist für die anschließende Beschichtung von entscheidender Bedeutung. Die Analysen ergaben, daß das Schleifen dieser Werkstoffe hohe Eigenspannungsgradienten in die Randzone der Werkstücke einbringt. Die Spannungsermittlung erfolgt mit röntgenographischen Methoden. Der Eigenspannungstiefenverlauf wurden mit dem sin2y-Verfahren an Netzebenen mit unterschiedlichen Eindringtiefen ermittelt. Die Ergebnisse zeigen, daß mit diesem Analyseverfahren die Gradienten nur unzureichend zu erfassen sind. Dies ist zurückzuführen auf die eingeschränkten Varia-tionsmöglichkeiten der Eindringtiefe der bei der Feinstrrukturanalyse verwendeten Röntgenstrahlung. Die Strahlung dringt deutlich tiefer in das Material ein, als der beeinflußte Bereich dick ist. Aus diesem Grund werden aus dem nichtlinearen Verlauf der Gitterdehnungen über sin2y die Eigenspannungsverteilungen in der Randzone berechnet. Mit dieser Eigenspannungsanalyse können wichtige Hinweise auf die Versagensursache von Schichtverbünden gewonnen und das spätere Einsatzverhalten der Werkstücke abgeschätzt werden.